全自动离子束刻蚀机
服 务 商：
清华大学
品牌/型号：
北京创世威纳科技公司 MIBE-150B
样品要求：
服务特色：
目前已有清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系近百个课题组利用制备平台开展微纳米结构的制备，同时制备平台也为周边乃至全国的纳米科技研究开展了服务，如向北京大学、中科院国家纳米中心、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济大学等多个课题组开展微纳结构的制备。
