电子工艺实验设备-测试100仪器共享平台

亲，请登录消息

我的订单会员中心常见问题意见反馈服务商入口

提交需求

仪器分类：: 色谱; 质谱; 电化学仪器; 波谱; 其他通用分析仪器; 光谱; X射线仪器; 元素分析; 水分测定; 粒度/颗粒/粉末分析仪器; 流变仪/粘度计; 表界面物性测试; 无损检测/无损探伤仪器; 燃烧测定仪; 热分析仪器; 试验机; 环境试验箱; 其它物性测试仪器; 光学显微镜; 光学测量仪器; 电子显微镜; 其它测量/计量仪器; 表面测量仪器; 水质分析仪; 辐射测量仪器; 分子生物学仪器; 芯片系统; 细胞生物学仪器; 成像系统; 煤炭行业专用仪器; 包装行业专用仪器; 橡塑行业专用测试仪; X射线残余应力仪; 纳米压痕仪; 制样/前处理仪器; 环境与农业分析; 生化分离分析; 显微镜及图象分析; 电子光学; 样品前处理及制备; 力学性能测试; 光电测量; 声学振动; 颗粒度测量; 大地测量; 电子工艺实验设备; 加工工艺实验设备; 食品工艺实验设备; 汽车工艺实验设备; 化工、制药工艺实验设备; 纺织工艺实验设备; 海洋生物调查仪器; 海洋遥感／遥测仪器; 多要素水文气象测量系统; 海洋水文测量; 海水物理量测量; 海洋采样设备; 数据采集及工作站; 服务器; 计算机; 影像诊断仪器; 临床检验分析; 电子诊察仪器; 地球物理测井; 地震仪器; 重力; 电磁法; 岩石矿物测试; 电法; 核辐射探测仪器; 离子束分析; 核效应分析; 中子散射及衍射; 活化分析; 气象台站观测仪器; 对地观测仪器; 被动大气遥感仪器; 高层大气/电离层探测器; 特殊大气探测仪器; 主动大气遥感仪器; 高空气象探测仪器; 光电检测; 射线检测; 声发射检测; 超声检测; 电磁检测; 激光器; 地面天文望远镜; 通用电子测量; 射频和微波测试; 网络分析; 大规模集成电路测试; 通讯测量; 力学计量; 电子学计量; 电磁学计量; 光学计量; 电离辐射计量; 声学计量; 热学计量; 时间频率计量; 味觉分析

已选条件：

晶圆键合机

中国科学技术大学

品牌/型号：

样品要求：

服务特色：

广泛应用于加速度计、压力传感器和陀螺仪等微机电器件的加工制备，可确保器件的气密性及可靠性，保障器件寿命。

安徽省

聚焦离子/电子双束系统

中国科学技术大学

品牌/型号：

样品要求：

服务特色：

FIB是微米纳米级分析和加工的重要工具，在微纳米区域切割、电路修改、注入和改性等方面有着重要应用。FIB技术可以在SEM高分辨率的清晰图像下，远离离子束刻蚀或气体增强刻蚀，非常精确地在器件特定微区制作剖面。利用FIB溅射刻蚀或辅助气体溅射刻蚀可以方便地制作集成电路的切面，用来分析失效电路的设计错误或制造缺陷，分析电路制造中的成品率的原因，以及研究和改进对电路制造过程的控制。

安徽省

亚微米紫外曝光机

中国科学技术大学

品牌/型号：

Karl SUSS MA/BA6

样品要求：

服务特色：

进行半导体器件、隔离槽、接触孔、金属互连线等的微纳米图形产生，广泛应用于微纳加工、MEMS、LED、微流体芯片、半导体器件等加工。

安徽省

等离子体去胶机

中国科学技术大学

品牌/型号：

Saratoga Technology International PlasmaStar200

样品要求：

服务特色：

半导体硅片生产中光刻胶或SU-8胶工艺；平板显示生产中等离子体预处理；太阳能电池生产中边缘绝缘和制绒；先进晶片（芯片）装配中的衬底清洁和预处理；微流控芯片封装预处理等；

安徽省

感应耦合等离子体刻蚀机

中国科学技术大学

品牌/型号：

Oxford instruments Plasma Technology SYSTEM100 ICP380

样品要求：

服务特色：

电感耦合等离子体干法刻蚀技术(ICP)以其高密度高能量和刻蚀各向异性的特点被广泛应用于高深宽比准三维结构的微纳米加工，如仿壁虎吸盘的高深宽比硅微柱阵列的制备以及高精度X射线衍射波带片的制备等。

安徽省

1