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仪器分类：: 色谱; 质谱; 电化学仪器; 波谱; 其他通用分析仪器; 光谱; X射线仪器; 元素分析; 水分测定; 粒度/颗粒/粉末分析仪器; 流变仪/粘度计; 表界面物性测试; 无损检测/无损探伤仪器; 燃烧测定仪; 热分析仪器; 试验机; 环境试验箱; 其它物性测试仪器; 光学显微镜; 光学测量仪器; 电子显微镜; 其它测量/计量仪器; 表面测量仪器; 水质分析仪; 辐射测量仪器; 分子生物学仪器; 芯片系统; 细胞生物学仪器; 成像系统; 煤炭行业专用仪器; 包装行业专用仪器; 橡塑行业专用测试仪; X射线残余应力仪; 纳米压痕仪; 制样/前处理仪器; 环境与农业分析; 生化分离分析; 显微镜及图象分析; 电子光学; 样品前处理及制备; 力学性能测试; 光电测量; 声学振动; 颗粒度测量; 大地测量; 电子工艺实验设备; 加工工艺实验设备; 食品工艺实验设备; 汽车工艺实验设备; 化工、制药工艺实验设备; 纺织工艺实验设备; 海洋生物调查仪器; 海洋遥感／遥测仪器; 多要素水文气象测量系统; 海洋水文测量; 海水物理量测量; 海洋采样设备; 数据采集及工作站; 服务器; 计算机; 影像诊断仪器; 临床检验分析; 电子诊察仪器; 地球物理测井; 地震仪器; 重力; 电磁法; 岩石矿物测试; 电法; 核辐射探测仪器; 离子束分析; 核效应分析; 中子散射及衍射; 活化分析; 气象台站观测仪器; 对地观测仪器; 被动大气遥感仪器; 高层大气/电离层探测器; 特殊大气探测仪器; 主动大气遥感仪器; 高空气象探测仪器; 光电检测; 射线检测; 声发射检测; 超声检测; 电磁检测; 激光器; 地面天文望远镜; 通用电子测量; 射频和微波测试; 网络分析; 大规模集成电路测试; 通讯测量; 力学计量; 电子学计量; 电磁学计量; 光学计量; 电离辐射计量; 声学计量; 热学计量; 时间频率计量; 味觉分析

已选条件：

放电等离子烧结装置

品牌/型号：

日本住友石碳矿业株式会社 SPS-1050 10吨 5000AM

样品要求：

服务特色：

浙江省

晶圆键合机

中国科学技术大学

品牌/型号：

样品要求：

服务特色：

广泛应用于加速度计、压力传感器和陀螺仪等微机电器件的加工制备，可确保器件的气密性及可靠性，保障器件寿命。

安徽省

聚焦离子/电子双束系统

中国科学技术大学

品牌/型号：

样品要求：

服务特色：

FIB是微米纳米级分析和加工的重要工具，在微纳米区域切割、电路修改、注入和改性等方面有着重要应用。FIB技术可以在SEM高分辨率的清晰图像下，远离离子束刻蚀或气体增强刻蚀，非常精确地在器件特定微区制作剖面。利用FIB溅射刻蚀或辅助气体溅射刻蚀可以方便地制作集成电路的切面，用来分析失效电路的设计错误或制造缺陷，分析电路制造中的成品率的原因，以及研究和改进对电路制造过程的控制。

安徽省

亚微米紫外曝光机

中国科学技术大学

品牌/型号：

Karl SUSS MA/BA6

样品要求：

服务特色：

进行半导体器件、隔离槽、接触孔、金属互连线等的微纳米图形产生，广泛应用于微纳加工、MEMS、LED、微流体芯片、半导体器件等加工。

安徽省

等离子体去胶机

中国科学技术大学

品牌/型号：

Saratoga Technology International PlasmaStar200

样品要求：

服务特色：

半导体硅片生产中光刻胶或SU-8胶工艺；平板显示生产中等离子体预处理；太阳能电池生产中边缘绝缘和制绒；先进晶片（芯片）装配中的衬底清洁和预处理；微流控芯片封装预处理等；

安徽省

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