快速热处理
服 务 商：
中国科学技术大学
品牌/型号：
NANYANG JAYTECH(HK) TECHNOLOGY CO,LIMIT JetFirst200
样品要求：
服务特色：
在半导体器研发制备工艺中，通过快速升降温实现离子注入后的杂质快速激活，降低杂质的扩散，是浅结制备的常用工艺；对石墨密封的GaAs退火，可以防止GaAs的热分解而且可以提高表面质量，防止颗粒沾污；通过控制反应腔内气氛，可以实现仅百埃的超薄氧化物、氮化物的生长；在硅上完成金属沉积后，利用RTP工艺可快速形成金属硅化物并实现其良好电接触等。
