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品 牌: 岛津
型 号: EPMA-8050G
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样品回收: 不支持样品回收
前置处理: 不支持样品处理
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检测项目:
EPMA
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检测条件:
面扫、线扫、点扫-定性、点扫-定量、元素态分析
检测范围
5B~92U元素定性、定量、线扫、面扫分析(波普功能)以及SEM的所有功能。为了有助于理解电子探针,同学们可以将它认为是一台EDS功能更为强大(灵敏度以及分辨率都超过EDS一个数量级,并且能对B、C、N、O、F超轻元素进行准确定量分析)的扫描电镜(EPMA同时也具备SEM各类功能)。
样品要求
送样要求大致与SEM类似,但稍有区别。定量样品尽量表面平整,粉末样品建议压片后送样(类似红外压片制样),粉末样品测mapping可根据自己需求选择铜片、硅片、云母片等作为基底,样品或基底面积建议小于5×5mm
仪器参数
主要参数:
1)二次电子像分辨率:≤ 3 nm(加速电压30 kV);
2)背散射电子像分辨率:≤ 20 nm(拓扑像、成分像);
3)电子枪:肖特基场发射电子枪;
4)加速电压:0.5~30 kV;
5)最大束流:≥3 μA;
6)束流稳定度:≤ ±0.3%/h (50 nA@10 kV);
7)图像放大倍数:40倍~400,000倍;
8)电子像的畸变:<3% (>400倍放大率);<5% (<400倍放大率);
9)分析元素:5B~92U;
10)分析精度:优于1%(主元素:含量>5%)和5%(次要元素:含量~1%);
11)波谱仪道数:5道(RAP/LSA200、LSA50/LSA70、PET/LiF、LiF/ADP、LSA80/LSA120);
12)分光晶体:全聚焦型晶体;
13)能谱仪:牛津80 m2
仪器特色&服务特色