检测范围
XPS因其独有的元素化学态识别功能，广泛应用于固体物理学、材料科学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、微电子技术、半导体、新能源等各个领域的材料与器件的检测分析。
样品要求
1. 样品为固体，无腐蚀性、无毒性、无挥发性、无放射性。
2. 样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统。
3. 样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。
4. 样品重量、尺寸要求：
粉末样品不少于10 mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送。
块状/片状/薄膜：长宽厚不超出5mm × 5mm × 3 mm（磁性样品尽量小），超出此范围请提前联系，可能会酌情收取制样费。
UPS样品尺寸不小于1 cm × 1 cm。
5. 样品数量多的，请务必编号，并拍照。
6. 对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记，并拍照。
7. 测不了H和He元素，其他元素都可以测。
8. 强磁性样品可能无法测得主要元素的信号峰，或者信号较弱。一般含有铁、钴、镍、锰成分的样品，若不提前告知，默认按磁性样品进行退磁处理后再进样！
9. 含量低于5%的元素请务必注明。元素分布不均或者质量分数小于2%的元素可能测不出明显信号，不保证测试会出峰，因为含量太低。
10. 元素窄谱测试如有特殊要求请备注，没特殊说明默认测最强峰；若最强峰和其他元素的峰有重叠，默认测次强峰。如果需要增加扫描次数，请提前联系。
11. 计算元素数量时，不计算碳元素。同一元素如需测试多个轨道峰，请务必写出，并算作多个元素。
12. 样品应充分干燥。高分子样品在送样前应进行干燥处理。若含有高挥发性分子等请务必烘烤抽除。若需要我们干燥处理，请提前联系，将加收制样费。
13. 请勿用手触摸样品表面，会引入污染。制好样后请尽快密封，避免其他物质污染。
14. XPS测试需要用导电双面胶把样品固定在样品上，测试过的粉末样品没法回收，块体样品回收可能会受到污染或者破坏，不保证样品完好，特别建议尽量不回收样品！
15. 关于测试结果的提供形式，默认只提供原始数据：VGP、EXCEL格式，未校准，未定量，未分峰。如有数据分析等其它需求，请提前联系，可能会酌情收取部分费用。
16. 测试周期: 收到样品后3~5工作日。如果需要加急，根据实际情况酌情加收50%~100%的加急费。
仪器参数
1、能量分辨率及灵敏度：
能量分辨率≤0.5 eV
在束斑大小为400 μm且光源功率≤80W的实验条件下，当Ag3d5/2峰的半高宽≤1.0eV时，计数率≥4,000,000 cps
2、电子能量分析器：
128通道微通道板探测器
能量扫描范围5eV-3000eV，最小能量步长3meV
通过能为1-400eV，连续可调
3、X光源：
微聚焦单色化光源，聚焦可获得最小束斑≤10 ?m
束斑面积从10μm至400μm聚焦连续可调，步长不超过5?m
光源最大功率150W
4、样品台：
多轴样品台：X、Y、Z 方向移动，围绕Z轴旋转，由计算机全自动控制
最大测试样品厚度不小于20 mm
样品台带有束斑孔径、刀刃边、荧光物质、银和金的标准样品台，用于系统自动标定
5、自动化电子/离子中和源：
带有同源双束中和枪，同时具备电子和离子中和能力，且电子及离子来源于同一中和源，可实现自动化精准电荷中和，无需单独调试某一样品
6、离子枪：
用于深度刻蚀和表面清洁的氩离子源，计算机控制，在低束能下保持高通量，自动校准束斑、能量等参数
能量范围：≥4000 eV
最大束流：4 A
离子能量3 keV，束流3.5 ?A时束斑不大于500 ?m
离子束可控轴向旋转
束斑可调，自动对中
7、角分辨XPS：
角分辨XPS用精控步进马达样品托，角度分辨优于1°
内置角分辨XPS数据处理功能，能实现膜厚计算等功能
仪器特色&服务特色
专业测试人员、快速测试速度，保证测试质量
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