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固定角椭偏仪(Fixed Angle Ellipsometer)
J.A.Woollam M-2000v
3个工作日
所在地区
  • 江苏省
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分析仪器

检测范围

用于测量单层或多层薄膜厚度d，单层或多层薄膜各层光学常数的测量，如折射率n 及消光系数k。

样品要求

膜厚度在10um以内，样品尺寸不限

仪器参数

光谱范围：370-1000nm，390个数据点，
测量时间：最快0.05s；典型1到5s (370-1000nm全光谱范围），
入射角：65度固定，
样品台大小：150mm水平样品台，自动Z轴高度，
光斑尺寸：普通光斑直径4mm左右，微光斑直径150μm。

仪器特色&服务特色

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