检测范围
主要用于各种有机和无机固体材料的表面元素和其价态的定性、定量分析，表面元素的化学成像及深度剖析。可用于腐蚀、摩擦、浸润、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面过程的研究。
仪器参数
AXIS-ULTRA DLD光电子能谱仪配备有多个国际标准窗口的样品处理室，功能强大且扩展性强，配有多样品停放台，大幅提高测试效率。样品处理室、分析室均配有冷热台，满足多层次测试需求。样品分析室配备UPS、AES、ISS等信号分析器，多角度获取样品信息。样品分析室配备低能悬浮离子枪、荷电中和系统、双阳极Al/Mg靶等大幅拓展测试样品范围。
主要附件：紫外光电子能谱仪UPS、俄歇电子能谱仪AES、离子散射谱ISS、双阳极Al/Mg靶、低能悬浮离子枪、真空断裂台、分析室冷热台等。 性能指标: 大束斑slot模式下能量分辨率：优于0.48 eV/(Ag 3d5/2)@400 kcps； 最小15μm分析区域下能量分辨率：优于0.50 eV/(Ag 3d5/2)@0.65 kcps； 110μm分析区域下能量分辨率：优于0.50 eV/(Ag 3d5/2)@75 kcps； 荷电中和系统：优于0.68 eV/(PET上O-C=O的C 1s)@15 kcps； 空间分辨率：优于3 μm；
主要特色: 高效的同轴单电子源低能电子荷电中和系统，对PET上O-C=O的C 1s的分辨率可达0.68 eV，满足大部分绝缘样品的全自动高分辨率分析要求。 二维的延迟线DLD检测器，可同时获取光电子的位置和强度，从而实现“从图得谱”。 “快照采谱（Snap Shot）”模式，在十数秒内即可获取完整的光电子能谱图，极大提高分析效率。 “从图得谱”模式采谱，无需重复测试，即可从XPS成像中获取光电子能谱。
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