检测范围
高分辨率的场发射扫描电镜，透射电镜和光学显微镜的试样制备。 可用于普通生物（细胞）表面 / 内部结构超微观察样品的制备，通过处理的样品导电性好，可提高二次电子产额，使微结构形貌清晰度大幅度增强。
仪器参数
仪器介绍：
二只penning离子喷镀枪，一只penning离子刻蚀枪，试样可以同时旋转和摆动，旋转速度、倾斜角度和摆动速度可调的多控制功能试样台， 选用这些功能后,使处理的样品表面喷镀均匀。 可以放置不同规格和不同尺寸的试样台﹙试样室大小为d＜30mm,h＜10mm﹚，允许多个试样刻蚀和喷镀都在同一个真空室内进行。
主要参数:
束能电压：0-6 kev。快速喷镀Cr≈1.5A/sec；C≈0.5A/sec
试 样 台：旋转速度：10~60°r pm；倾斜角度：0~90°；摇摆速度：0~40°/ sec。
试样直径：喷镀d <30mm, h<10mm；刻蚀d <10mm
分享
