检测范围
该仪器可以独立地小角度快速减薄，并且无污染、无损伤试样。
应用于陶瓷、金属、半导体等材料的透射电子显微镜（三维立体图像）试样制备。
仪器参数
仪器介绍：
离子减薄是通过两个微型可调角度的Penning离子枪，每个枪的角度变化为±10o，且相互独立，在可以调节的角度范围内精确会聚到样品上。离子枪装有强的稀土元素磁体，从而可能达到高效的减薄速率。每个枪都安装在一种通用的接头上，从而通过x和z对中，使离子束在样品上精确对中，通过变换角度、强束、定点这些特性，可以实现在非常小的角度下减薄样品，使样品得到的薄区很大。而且减薄时间很短，效率高。
主要参数:
离 子 枪：电压0-6 kev；双离子源：两个penning离子枪；离子枪转角：±10°。
试 样 台：转速0-6rpm；多功能的试样支架；快速的试样转换时间。
处理前试样厚度：d<0.08mm
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