检测范围
广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。
仪器参数
Nova NanoSEM 450场发射扫描电子显微镜可实现固体样品的微观形貌观察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析；配备的背散射探头可获得样品的成分衬度图片；配备的低真空探头可对不导电样品进行形貌及成分分析，而不需要进行喷金处理。
主要附件：
超高强度Schottky场发射灯丝；
SE、TLD探测器； 低真空探测器；
低真空高分辨探测器； 背散射探测器；
牛津X-Max 50电制冷能谱仪；
CCD红外相机；
技术参数:
高真空模式分辨率：1nm ( 15KV)；1.6 nm (1KV)；
低真空模式分辨率：1.5nm（10kV，Helix探测器)，1.8nm（3kVHelix探测器) 标样放大倍数：
40倍～40万倍 加速电压：
加速电压 50V - 30kV，连续可调 倾斜角度：-10°～70° 样品台移动范围：X=Y=110mm；
EDAX能谱能量分辨率126eV，成分范围B~U，束斑影响区1μm左右
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