检测范围
纳米材料、复合材料、陶瓷材料、金属材料、高分子材料、薄膜材料、建筑材料、生物材料、电子材料、导体与非导体地矿、考古等表面微观形貌观察及成分分析。
仪器参数
FEI/飞利浦新推出的Quanta系列扫描电子显微镜成为目前技术先进、操作方便、维护简单的扫描电镜产品，主要用于各种材料的表面形貌观察和分析，目前已成为材料科学、生命科学研究中不可缺少的工具。新型环境扫描电镜实现了人们所追求的在自然状态下样品观察的目标。数字化、微机控制扫描电镜，完全取代模拟图像，多种记录方式，方便网上传输，并可用鼠标完成全部操作功能。
主要附件：EDAX能谱仪，背散射探头，低真空模式探头，环扫模式探头，高温操作台，冷台
技术参数:
分辨率：高真空模式 3.0nm at 30kV, 10nm at 3kV ;低真空模式 3.0nm at 30kV, 12nm at 3kV ;环境真空模式 3.0nm at 30kV ;背散射电子像 4.0nm at 30kV
样品室压力最高达2600Pa
加速电压200V ～ 30kV，可连续调节
样品台移动范围：X=Y=50mm
分冷台和热台操作。冷台：温度检测精度0.5℃；操作温度范围为：-5℃～60℃。热台：操作温度最高为1000℃。
EDAX能谱能量分辨率130eV，成分范围B~U，束斑影响区1μm左右
技术特点:
FEI ESEM(环境扫描电镜)技术, 可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种导电、非导电及活体样品进行观察和分析。
可获得所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观元素分析。
环境扫描模式可检测活体的、湿的样品。可安装低温冷台、加热台等进行样品的动态观察和分析。
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