检测范围
该设备广泛用于无机薄片样品的大面积减薄以有利于TEM观察，也可对样品表面污染层或涂层进行清洁，或用于样品表面的离子束刻蚀和切割。
仪器参数
EM RES102 多功能离子减薄仪是莱卡公司生产的一款集TEM、SEM和LM样品制备功能于一体的全自动桌面式设备。该设备具有高能量离子研磨功能，也能用于低能量及温和的离子束研磨，抛光区域可达25 mm，研磨过程参数全电脑控制。
核心参数:
离子束加速电压调节范围：0.8-10 KeV（步长0.1 KeV）
离子束流：单枪最大4.5 mA（双离子枪）
离子枪倾斜角度：±45°（精确度为0.1°）
样品摆动角度：最大360°，每步1°
样品台倾斜角度：-120°至210°（精确度为0.1°）
研磨角度范围：-90°至90°（由样品台倾斜角度决定）
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