检测范围
观测块状金属（不包括磁性材料）、非金属固体材料、纤维、薄膜的表面或断面的微区形貌；该仪器配有二次电子（SE）和背散射电子（BSE）等不同类型探测器可供选择使用，可对各种材料进行高倍观察。广泛应用于各种材料（陶瓷、半导体、催化剂、地质矿物、高分子和复合材料等）的
样品要求
① 干燥的固体样品；
② 无磁性、无挥发性、无腐蚀性、无放射性、无毒性、无传染性等对设备和人员产生损害的样品。
上述①②两项必须同时具备，方可测试。
仪器参数
二次电子分辨率：3nm（30kv） 7.0nm（3kv）
背散射电子分辨率：4.0nm（30kv） 10.0nm（5kv）
放大倍数：5x ~ 300000x（与样品有关，常规样品20-50000倍）
加速电压：300v~30kv
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