检测范围
微观形貌、微观结构
样品要求
①干燥的固体样品
②样品无磁性、无挥发性、无腐蚀性、放射性等对设备和人员产生损害的样品
上述①②两项必须同时具备，方可测试
仪器参数
仪器配置了用于观察样品内部信息的STEM附件。二次电子观察样品最表面形态，明场（BF）STEM观察晶体Z衬度，暗场（DF）STEM观察Z衬度（原子序数效应）。
主要技术特点
① 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
② Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像
③ 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
④ 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
⑤ 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
主要技术指标
① 低加速电压，高分辨率
② 减轻荷电影响的SE/BSE信号可变功能
③ SU8000系列的通用控制系统GUI
④ 配备了STEM功能附件
功能附件
① X-射线能量色散谱仪，简称能谱仪(EDS)，探测元素范围Be4-U92
② 扫描透射电子显微镜探头，即STEM，检测样品的透射像
③ 离子溅射仪，可喷Au、喷Pt，用于样品导电处理
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