缺陷检查设备(DA CHECK)
上海集成电路研发中心有限公司
AMAT,SEMVisioncX
上海市
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检测范围

适用于直至90nm技术代的缺陷细微检查和成分分析

仪器参数

缺陷检知率>90%重复性>95%分辨率9片/小时
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