检测范围
提供能谱仪和背散射衍射仪的探头接口和电子束外部控制接口。提供与能谱仪形成一体化的接口(采用TCP/IP方式,提供电镜方软件)，配合能谱仪一方实现对扫描电镜镜筒参数的控制。
仪器参数
1.电子光学工作模式1.1分辨率：依据所选择的工作条件，自动配置镜筒参数而得到最佳的分辨率；1.2景深：在此模式下可以加强对景深的聚焦；1.3视野模式：观察视野可达3cm，可在较大区域内观察样品，获取图片 ；1.4大视野：优化镜筒结构后可得到特大视野不变形图象；1.5摇摆电子束：采集电子通道花样（ECP），可获得样品晶体方向的工作模式。2. 高真空下的分辨率（二次电子）：30KV下3.0nm；3KV下8.0nm。3. 放大倍数：3x？D1,000,000x 连续可调。4.加速电压：200V
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