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椭圆偏振光谱仪(Ellipsometer)
上海理工大学
Jobin Yvon，UVISEL
上海市
我们目前尚未与上海理工大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

可对半导体、化合物半导体、电介质、聚合物、金属、各向异性材料等各类薄膜进行椭偏测量，也可对透射光和反射光的强度进行测量。

仪器参数

测量范围：190～2100nm； 可变角测量：55-90度，最小步长0.01度； 光斑大小手动可调：最大1mmx3mm，最小0.15mmx0.45mm。
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