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干涉仪(interferometer)
上海理工大学
ZYGO公司，GPI-XP/D4
上海市
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检测范围

精细加工表面面形测试、曲率半径测量；棱镜、角镜角度测量、计算机辅助装调等。

仪器参数

普通测量：平面 PV：λ/20????????? RMS：λ/100????????? 球面 PV：λ/10??????????RMS：λ/100??????&n
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