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电子显微镜SEM(scanning electron microscope)
上海理工大学
TESCAN，VEGA II SBU
上海市
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检测范围

超快检测；精细微测量

仪器参数

　1 分辨率 ：　　高真空：二次电子   3.0nm(30kV)，8.0nm(3kV)                背散射电子 3.5nm(30kV)        低真空：背散射电子 3.5nm(30kV)　　2放大倍数: 6x～1,000,000x　　3加速电压：0.2～30kV，连续调整　　4 低真空范围： 3～500帕　　5电子枪： 预对中钨灯丝，操作界面能如实显示实际灯丝使用时间。　　6 探测器：       二次电子探测器：要求采用YAG材质的闪烁体；        可移
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