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扫描俄歇微探针(Scanning Auger Microprobe)
上海华碧检测技术有限公司
PHI，PHI 660
上海市
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检测范围

主要应用于固体材料的成份，特别是微纳区域的表面与结构分析（线扫描，面扫描，深度剖析，成像）。

仪器参数

检测范围：原子序数大于He的所有元素检测极限：0.1 at%信息深度：0.5~5 nm空间分辨率：25 nm能量分辨率≤0.3%半定量：相对原子灵敏度因子法
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