超声波扫描显微镜(SAM)
上海华碧检测技术有限公司
SONOSCAN,ZE500
上海市
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检测范围

晶元面处脱层,锡球、晶元、或填胶中之裂缝,晶元倾斜,各种可能之孔洞(晶元接合面、锡球、填胶…等), 覆晶构装之分析

仪器参数

扫描分辨率0.1微米.最小扫描范围为0.25mm*0.25mm
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