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聚焦离子束显微镜(Focused Ion Beam Basics)
君海半导体技术（上海）有限公司
麦克里昂，Vectra986+
上海市
我们目前尚未与君海半导体技术（上海）有限公司提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

1. 定点切割(Precision Cutting) 2. 穿透式电子显微镜试片制作 (TEM sample preparation) 3. IC线路修补和布局验证 (IC circuit editing and verification) 4. 制程上异常观察分析 (Abnormal process analysis) 5. 晶相特性观察分析 (Ion Channeling Contrast for Grain Morp

仪器参数

高电压50kv；高真空e-7；高精密5um
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