聚焦离子束显微镜-Micrion 9500(Focused Ion Beam Basics)
君海半导体技术(上海)有限公司
麦克里昂,Micrion 9500
上海市
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检测范围

定点切割(Precision Cutting) 2. 穿透式电子显微镜试片制作 (TEM sample preparation) 3. IC线路修补和布局验证 (IC circuit editing and verification) 4. 制程上异常观察分析 (Abnormal process analysis) 5. 晶相特性观察分析 (Ion Channeling Contrast for Grain Morphol

仪器参数

高电压50kv;高真空e-7;高精密5um
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