扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)
上海新微技术研发中心有限公司
德国蔡司,Zeiss Merlin Compact
上海市
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检测范围

微结构观察材料分析

仪器参数

分辨率:0.8nm@15kv;1.6nm@1kv放大倍率:12-2,000,000x探测器:In-lens SE;ETSE五轴电动样品台:X=130mm;Y=130mm;Z=50mm;T=-3o~70o;r=360o样品室尺寸:330mm(Φ)* 270mm(h)图像处理:最大至32k×24k像素
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