检测范围
原子力显微镜(AFM)使用对微弱力非常敏感的弹性悬臂上的针尖对样品表面作光栅式扫描，通过检测针尖在样品表面信号变化得到样品表面信息。其能够在大气环境下准确地观测样品表面纳米尺度的三维形貌，如样品表面粗糙度、沟道深度和宽度等；同时可以对样品表面进行纳米尺度的刻蚀
仪器参数
测量模式： 接触模式 (Contact Mode) 轻敲模式 (Tapping Mode) 相位成像模式（Phaseimaging） 抬起模式 (Lift Mode) 横向力/摩擦力显微镜 (LFM)扫描视场范围： 最大：90μm x 90μm x 10μm (X，Y，Z)噪声水平：≤0.3 &Ar
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