检测范围
椭偏测量技术（Ellipsometry）是一种非破坏光学测量技术，基于利用测试偏振光束测量经样品反射（或透射）后导致的光束偏振态的变化，进而进行分析拟合，得到所需光学信息。椭偏仪利用椭偏术测量薄膜的光学膜层厚度和光学常数、半导体及其氧化物成分的折射率和厚度、润滑层的
仪器参数
光谱范围： 193纳米到1000纳米，500个波长聚焦光斑尺寸： 25μm X60μm入射角： 65度数据采集： 最优性噪比采样时间为1到5秒可测量参数： 椭偏：ψ（0-90度）和Δ（0-360度）、反射强度比、退偏比穆勒矩阵： 测量及拟合穆勒矩阵中的11个元素连续旋转补偿器： 旋转速率20Hz光束偏离：
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