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聚焦离子束显微镜(Focused Ion beam)
珏锐电子科技（上海）有限公司
麦克里昂，Vectra986+
上海市
我们目前尚未与珏锐电子科技（上海）有限公司提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

1.Circuit Secondary Repair/Modify 2.Cross-Section 3.Failure/Structure Analysis 4.TM case sample fabrication

仪器参数

A,电压:Vacc:0.5~30KV Vext:0~6.5KV B,分辨率:5nm at 25KeV C, 放大倍率:200~15000倍D,可观察范围:x:0~25mm;y:0~25mm;z:5~30mm
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