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场发射扫描电子显微镜(SEM+EDS)
珏锐电子科技（上海）有限公司
Hitachi，S4800
上海市
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检测范围

样品表面、断面形貌观察，微区化学成分分析材料表面和断面的形貌观测颗粒性物质的大小测定 固体表面微区成分分析

仪器参数

分辨率：1.0nm (15kV) 2.0nm (1kV)1.4nm(1KV)入射电子减速功能 加速电压：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步 放大倍率：×20 ~ ×800,000束流强度：1pA~2nA
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