光伏专用电化学ECV 掺杂浓度检(WAFER PROFILER CVP21)
上海瞬渺光电技术有限公司
WEP,CVP21
上海市
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所有仪器

物理测试

分析仪器

检测范围

有效检测:外延,扩散,离子注入适用材料:各种半导体材料

仪器参数

载流子浓度测量范围:?    1011/cm3-1021/cm3深度解析度:1nm~无穷大
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