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激光干涉仪(abc)
上海航天机密机械研究所
-，ML10
上海市
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检测范围

加工中心机床三轴的位置精度检测及其自动补偿，可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等

仪器参数

测量精度：±1.1PPM(在0--40℃下)；测量范围：线性测长40m；测量速度：60m/min；分辨率：0.001μm
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