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聚焦离子束系统(Focused Ion Beam System)
所在单位：	上海聚跃电子科技有限公司
品牌/型号：	FEI Company，FIB200
所在地区：	上海市
仪器说明：	我们目前尚未与上海聚跃电子科技有限公司提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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FIB200目前主要用以0.18um 以上集成电路修补包括Pt互连，新型辅助气体搭配离子束快速切割,低阻值探点的快速生成，电阻模拟，X-section 和TEM lamella 的制备等．

分辨率５nm，30kV加速电压，离子束流1-11000pA

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