多功能薄膜测试系统(Multi-functional thin film measurement system)
尚德太阳能电力有限公司
Scientific Computing Int.,Filmtek 3000+IR
上海市
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检测范围

可测透过率、反射率、折射率、消光系数,并可计算薄膜厚度、禁带宽度等。对于新材料样品,需要在软件中设定新的recipe方可进行相关计算。

仪器参数

膜厚测量范围:1nm-150μm。膜厚测量精度:±1.5?,测量NIST标准的1000? to 1μm氧化物。测试时间:每点小于2秒(标准氧化物)。
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