扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)
上海空间推进研究所
Tescan.a.s/oxford instruments analytical ltd,VEGA3 XM/Inca X-Max20
上海市
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检测范围

原材料金相分析,焊接质量分析,断口分析,元素定性、半定量分析和分布分析

仪器参数

分辨率:高真空 SE:3.0nm(30kv)                    10nm(3kv)                BSE: 4.0nm(30kv)        低真空: SE:3.5nm(30kv)                BSE: 4.5nm(30kv)加速电压:200v-30kv放大倍数:6x-1000000x真空度:0.1mpa,低真空:10pa-400pa样品室尺寸:300mm*330mm*310mm样品台移动精度:重复精度1微米,最小步长100nm,
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