检测范围
1. 定点切割(Precision Cutting)2. 穿透式电子显微镜试片制作 (TEM sample preparation)3. IC线路修补和布局验证 (IC circuit editing and verification)4. 制程上异常观察分析 (Abnormal process analysis)5. 晶相特性观察分析 (Ion Channeling Contrast for Grain Morpholo
仪器参数
加速电压；200-30KV;放大倍率；25-200K;高真空；6X10-4Pa;样品最大尺寸；200mm
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