检测范围
表面形貌观察，颗粒大小分析
仪器参数
分辨率（二次电子像）：高真空模式：1.0 nm@30kV，3.0 nm@1kV，低真空模式：1.4 nm@30kV，3.0 nm@3kV；加速电压为0.2-30kV；具有5轴马达驱动全对中样品台；具有多个探测器，如二次电子探测器、背散射电子探测器 、低真空二次电子探测器、红外CCD探测器；能谱仪分辨率优于129eV（MnKa）；能谱仪的元素分析范围为Be4-Pu94。
仪器特色&服务特色
为中科院上海应用物理研究所的国家重大科技项目提供TEM检测分析服务，提供了必要的技术支撑服务
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