紫外纳米压印机(EVG620&EVG101)
上海市纳米科技与产业发展促进中心
EVG,EV620
上海市
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检测范围

紫外纳米压印,亚微米级纳米级别的图形转移,最大加工面积4英寸

仪器参数

X UV?Light?(350-450?nm) X Special?tooling?for?UV-NIL?X Chuck?supports?both?soft?and?hard?stamps??
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