检测范围
Dimension 3100 SPM 使用自动化的原子力显微镜和扫描隧道显微镜技术，可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。它的激光点定位系统和无需工具改变扫描技术的能力保证了仪器的适用性、易操作性和高的数据
仪器参数
技术参数噪声：在屏蔽噪声和震动后，均方根在垂直（Z）方向上小于0.5埃 开环扫描头：X-Y方向上约90微米的正方形范围,Z方向上约6微米范围标准的横向精度在1%之内，最大2%在整个扫描范围和偏移量内，每个轴上都能达到全部16位分辨率 闭环扫描头：X-Y方向上约90微米的正方形范围,Z方向上约6微米范围,典型的横向非线性精度在1%之内，最大2%在整个扫描范围和偏移量内，每个轴上都能达到全部16位分辨率 带刻度的扫描头：X-Y方向上约75微米的正方形范围,Z方向上约7微米范围,横向精度±0.3
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