检测范围
日立S－4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计，却能达到超高分辨率，可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美，用于纳米材料以及纳米加工材料的形貌观察，以及成分半定量分析。
仪器参数
1）二次电子分辨率：1.0nm(加速电压15KV) 2.0nm(加速电压1KV) 1.4nm(加速电压1KV)(减速)2）放大倍数：低倍模式， ×30 到 ×2k 高倍模式， ×100 到 ×800k3）电子光学： 电子枪......冷场发射电子枪 加速系统....0.5--30kv（步进0.1kv） 透镜系
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