金属有机薄膜沉积系统(无)
上海大学
沈阳市四达真空技术应用研究所,*
上海市
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所有仪器

测量/计量仪器

检测范围

真空热蒸发方式制备多种薄膜。有机/无机/金属等薄膜沉积

仪器参数

1 最多一次制备4片样品;2 最高真空度:5×10-5pa;3 带有电子枪。
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