检测范围
日立IM4000型离子研磨系统具有断面加工和平面研磨功能的混合仪器。断面加工：将样品断面研磨光滑，便于表面以下结构高分辨成像；平面研磨：将样品表面均匀研磨5平方毫米，从不同角度有选择的研磨，以便突出样品的表面特性。
仪器参数
1. 气源：Ar离子源；？2. 加速电压；0-6kV，连续可调；3. 研磨速率：截面功能：300μm/h；平面功能：点速率，20μm/h，面速率2μm/h；4. 最大样品直径：截面功能：20×12×7mm，平面功能：直径50mm，高度25mm；5. 转角度：平面功能：1 r/m 或25r/m；？6. 摇摆角：截面功能：±15°，±30°，±40°，平面功能：±60°，±90°；7. 倾转角度，平面功能：0-90；8. 配有质量流量控制器以自动控制离子束流；
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