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扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscopy)
上海大学
精工，SPA-400A
上海市
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检测范围

表面形貌测试

仪器参数

样品最大尺寸：Ф35mm×10mm(H)   表面形貌分辨能力：XY: 0.2nm, Z: 0.01nm   自动颗粒度拟合，扫描图像剖面分析   图形分析：2D, 3D粗糙度、距离测量、   最大扫描范围：20×20μm； 100×100μm   样品台平移范围：X,Y方向 ?5mm；精度：250 μm
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