脉冲激光沉积系统(Pulsed Laser Deposition Systerm)
上海大学
沈阳科学仪器研制中心公司,PLD-450型
上海市
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检测范围

沉积氧化物薄膜

仪器参数

激光:248nm 最高功率:700mJ脉冲宽度:25ns沉积腔:真空极限6.5x10-5
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