检测范围
三维原子探针（3DAP）是对不同元素的原子逐个进行分析的一种技术，并给出纳米空间中不同元素原子的分布图形，能够进行定量分析，是目前最微观，并且分析精度较高的一种分析技术。从分析逐个原子来了解物质微区化学成分的不均匀性，3DAP是一种不可替代的分析方法。可直接观察C
仪器参数
a)样品可冷却至20-80K温度下进行分析，并在?25-290K之间以1K的分辨率完全可控。b)在20X20X100nm空间中可定出多数原子的三维空间位置和元素种类。水平方向空间分辨率优于0.25nm。c)分析室的真空度应优于1?x?10-10?mbar.?样品从放入预抽真空室到放入分析室并达到要求的真空度所需的时间应小于30分钟。d)系统可探测的质/?荷比范围为1?到?300?AMU
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