双束型聚焦离子束显微分析系统(Helios Nanolab 600i)
上海大学
FEI HONGKONG CO.,LTD,Helios 600i
上海市
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检测范围

纳米级加工及观测研究。

仪器参数

1.电子束系统分辨率:0.9nm(15kv)/1.4nm(1kv)2.离子束系统分辨率:在束交叉点:4.5nm@30kV(统计测量法)在束交叉点:2.5nm@30kV(单边测量法)3.电子束加速电压:350V-30kV4.离子束加速电压:0.5-30kV5.电子束流:≤22nA6.离子束流:1pA ?C 65nA
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