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扫描电镜(Scanning Electron Microscopy)
上海大学
Hitachi（日立），SU-1510
上海市
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检测范围

观察样品表面微观形貌，得到背散射衬度相，定量分析或线扫、面扫得到EDS能谱信息。

仪器参数

1.钨灯丝电子枪2.分辨率：3.0 nm（30 kV，高真空模式）/4.0 nm（30 kV，低真空模式）3.加速电压：0.3-30 kV
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