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热场发射扫描电镜(Field Emission Scanning Electron)
上海大学
CamScan，Apollo 300
上海市
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检测范围

观察通过微细加工技术而制成的多层膜和超细微粒子等的微细结构。元素定性、定量分析晶体取向的分析原位拉伸和EBSD拉伸观察

仪器参数

分辨率：1.2 nm（30 kv）/1.5 nm（15 kv）/2.0 nm（1 kv）加速电压：100 V-30 kVEDS分辨率: Mn Ka小于133eVEDS元素分析范围：B5-U92
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