检测范围
三维原子探针是在场离子显微镜(FIM)基础上发展的新型分析仪器，它可以定出金属材料三维空间中原子的元素种类，并给出各种元素的空间分布。
仪器参数
1. 在200 nm×200 nm×深度方向三维空间中可分辨几乎所有原子的的种类并给出三维空间的分布。纵向空间分辨率0.2 nm。2. 分析室的真空度优于1×10-10 Torr。3. 系统可探测的质/ 荷比范围为1 到 300 AMU4. 半高宽质量分辨率优于1000:1，十分之一高宽质量分辨率优于475:1。5. 最大数据收集速率大于100万个离子/分钟。6. 激光脉冲模式下最高脉冲频率250 kHz。
分享
