检测范围
扫描电化学显微镜SECM,扫描振动电极SVP,微区电化学阻抗谱LEIS
仪器参数
主要技术指标及质量指标1. 微区扫描探针平台：采用纳米分辨率、快速精确的闭环X、Y、Z移位系统，以及灵活便捷的数据采集系统。具体技术要求如下： 1.1. 扫描范围(X、Y、Z)：70mm×70mm×70mm ；1.2. 扫描驱动分辨率：8nm ；1.3. 位移偏码：线性，零滞后 ；1.4. 位移：闭环定位 ；1.5. 线性位移编码分辨率：100nm ；1.6. 最大扫速：2mm/s 1.7. 测量分辨率：16位@100kHz ；1.8. 计算机通讯方式：USB接
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