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扫描式电子显微镜(SEM)
上海大学
日本电子公司JEOL，JSM-6700F
上海市
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检测范围

主要特点为冷场发射电子枪，强励磁圆锥透镜?，高度集成化和自动化。主要用于纳米材料显微结构、尺寸分析?，材料微结构、相组成及相分布分析?，材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析、材料失效分析。

仪器参数

二次电子像分辨率：1.0NM（15KV）、2.2NM（1KV）;背散射电子像分辨率：3NM（15KV）、WD=8MM）;EDS分辨率：136eV?EDS?;元素分析范围：B-U。
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